天野研究室装置＆会議室予約Link

- 装置分類	- 装置名称
SEM	* SU-70 * SU9000 * S4300
X線回折	* SmartLab * Philips * Panalytical
光学特性	* 半パラ(B1505A) * 大面積CL * FTIR * エリプソメトリー * IB4F_AC3
加工	* ダイシング * IB3F_ICP * IB3F_Impla * FIB * maskless
電気特性	* ホール効果 * semiauto
表面形状	* AFM
予約管理外	*顕微PL *励起強度依存（405） *プローバ *エキシマ *周波数応答特性 *DLOS/DLTS	*プリント基板加工 *耐圧プローバ *時分解PL *積分球 *VertScan *X線トポグラフ *カーボン蒸着機
- 会議室建屋	- 会議室名称
IB南棟2階	* 261会議室

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