研究設備

  • MOCVD
    01_MOCVD_1 02_MOCVD_2 03_MOCVD_3
  • SEM+EDX+EBSD
    04_SEM+EDX+EBSD
  • XRD
    05_XRD
  • X線トポグラフィ―測定装置装
    06_X線トポグラフィー測定装置
  • エリプソメータ
    07_エリプソメータ
  • FTIR
    08_FTIR
  • ホール測定装置
    09_ホール測定装置
  • 原子層堆積装置
    10_原子層堆積装置
  • スパッタ装置
    11_スパッタ装置
  • カーブトレーサー
    12_カーブトレーサー
  • 高耐圧大電流用プロ―バ―
    13_高耐圧大電流用プロ—バー
  • 半導体パラメータアナライザ
    14_半導体パラメータアナライザ
  • ナノインプリント
    15_ナノインプリント
  • PLマッピング装置
    16_PLマッピング装置
  • 低温PLマッピング装置
    17_低温PLマッピング装置
  • 走査型近接場稿顕微鏡
    18_走査型近接場光顕微鏡
  • 光容量測定装置
    19_光容量測定装置